| Er | ≥99,999 % | 99,999 % | ||||||||
| Ne | <4,0 ppm | 2,2 ppm | ||||||||
| H2 | <1,0 ppm | 0,5 ppm | ||||||||
| O2 + Ar | <1,0 ppm | 0,638 ppm | ||||||||
| N2 | <2,0 ppm | 1,54 ppm | ||||||||
| CO | <0,5 ppm | 0,21 ppm | ||||||||
| CO2 | <0,5 ppm | 0,19 ppm | ||||||||
| H2O | <3,0 ppm | 1,62 ppm | ||||||||
| CH4 | <0,5 ppm | 0,21 ppm | ||||||||