| Maschinenmodell | 3HE-UV3W/5W | 3HE-UV8W | |||
| Laserwellenlänge | 355nm | ||||
| Pulswiederholfrequenz | 20-100kHz | 15-100kHz | |||
| Impulsbreite | < 20ns@30KHz | < 25ns@10KHz | |||
| Durchschnittliche Leistung (W) | 2, 0-3, 0@30KHz | 4, 0-5, 0@40KHz | 7, 0-8, 0@50KHz | ||
| Durchschnittliche Leistungsstabilität | < ±2% über 8 Stunden | ||||
| Impuls-zu-Impuls-Instabilität | < 3 % eff | ||||
| Räumlicher Modus | TEM00 (M2< 1, 3) | ||||
| Strahldivergenz | < 2mrad (voller Winkel) | ||||
| Strahldurchmesser | 0, 6±0, 1mm | ||||
| Rundheit des Strahls | > 90% | ||||
| Zeigestabilität | < 50urad | ||||
| Polarisationsrichtung | Horizontal | ||||
| Polarisationsverhältnis | 100: 1 Uhr | ||||
| Kühlmethode | Luftkühlung | Wasserkühlung | |||
| Umgebungstemperatur (C) | 15-30 | ||||
| Lagertemperatur (C) | -10 bis 50 | ||||
| Relative Luftfeuchtigkeit | 10 % bis 80 % (nicht kondensierend) | ||||
| Aufwärmzeit (Min. ) | < 10 | ||||
| Betriebsspannung | 90V-260V | ||||