Campo escuro (wafer) Permite a observação de campo escuro ou luz diffracted difusa do espécime. Tudo o que não é plano reflecte esta luz enquanto nada que esteja plana aparece escuro assim imperfeições sobressair claramente. O usuário pode identificar a existência de um mesmo minuto zero ou falha para baixo até o nível de 8 nm-menor poder de resolução limite de um microscópio óptico. Campo escuro é ideal para a detecção de minutos de arranhões ou imperfeições em um modelo e análise de superfície do espelho espécimes, incluindo bolachas. | Interferência do diferencial do contraste (partículas condutoras) DIC é uma técnica de observação microscópica em que a diferença de altura de um modelo não detectável com campo claro se torna um alívio ou três- imagem bidimensional com contraste melhorado. Esta técnica utiliza luz polarizada e pode ser personalizado com uma escolha de três prismas especialmente concebidos. É ideal para a análise de amostras com muito minutos de diferenças de altura, incluindo estruturas metalúrgica, minerais, cabeças magnéticas, hard-disk media e as superfícies das bolachas polido. |
Luz transmitida Observação (LCD) Para o modelo transparente como LCDs, plásticos e materiais de vidro, a luz transmitida observação está disponível usando uma variedade de condensadores. Análise de um modelo em transmitido campo claro e luz polarizada pode ser feito tudo em um único sistema. | Luz polarizada (amianto) Esta técnica de observação microscópica utiliza luz polarizada gerados por um conjunto de filtros (analisador e polarizador). As características da amostra afetam diretamente a intensidade da luz refletida através do sistema. Ele é adequado para aplicações metalúrgicas estruturas (ou seja, o padrão de crescimento de grafite em ferro fundido nodular), minerais, LCDs e materiais semicondutores. |
O ponto | Especificação | BS-6025FR | BS-6025TRF | |
Sistema óptico | Nei45 Sistema Óptico de Correcção de Cor Infinito (comprimento do tubo: 180 mm) | * | * | |
Cabeça de visualização | Ergo inclinando a Cabeça trinocular, ajustável 0-35° de inclinação, Distância interpupilar 47mm-78mm; fraccionamento ocular relação:Trinocular=100:0 ou 20:80 ou 0:100 | * | * | |
Cabeça trinocular Seidentopf, 30° de inclinação, Distância interpupilar: 47mm-78mm; fraccionamento ocular relação:Trinocular=100:0 ou 20:80 ou 0:100 | ○ | ○ | ||
Cabeça binocular Seidentopf, 30° de inclinação, Distância interpupilar: 47mm-78mm | ○ | ○ | ||
Ocular | Plano de campo super amplo ocular SW10x/25mm, ajuste de dioptrias | * | * | |
Plano de campo super amplo ocular SW10x/22mm, ajuste de dioptrias | ○ | ○ | ||
Plano de campo extra larga ocular EW12.5x/16mm, ajuste de dioptrias | ○ | ○ | ||
Grande plano de campo Ocular WF15x/16mm, ajuste de dioptrias | ○ | ○ | ||
Grande plano de campo Ocular WF20x/12mm, ajuste de dioptrias | ○ | ○ | ||
Objectivo | Nei45 PLANO DA LWD infinita Semi-APO objectivo (BF & DF) | 5X/NA=0,15, WD=20mm | * | * |
10X/NA=0,3, WD=11mm | * | * | ||
20X/NA=0,45, WD=3,0mm | * | * | ||
Nei45 PLANO DA LWD infinita APO objectivo (BF & DF) | 50X/NA=0,8, WD=1,0mm | * | * | |
100X/NA=0,9, WD=1,0mm | * | * | ||
Ponteira | Porta-objectivas sêxtuplo motorizado para trás (com CIVD slot) | * | * | |
Condensador | Condensador da LWD N.A.0,65 | ○ | * | |
Iluminação transmitidos | 12V/100W a lâmpada de halogéneo, Kohler iluminação, com ND6/filtro ND25 | ○ | * | |
3W S-lâmpada LED, pré-centro, intensidade ajustável | ○ | ○ | ||
Iluminação reflectida | Luz refletida 12W/100W a lâmpada de halogéneo, iluminação de Köhler, com torre de 6 posições | * | * | |
Lâmpada de halogéneo de 100 W house | * | * | ||
O BF1 Módulo do campo luminoso | ○ | ○ | ||
O BF2 Módulo do campo luminoso | * | * | ||
DF módulo de campo escuro | * | * | ||
Construído em ND6, ND25 filtro e filtro de correção de cores | ○ | ○ | ||
A função ecológica | A função ecológica com o botão ECO | * | * | |
O controle motorizado | Bocal com os botões do painel de controle. 2 de objectivos mais comumente usados poderia ser definido e o interruptor pressionando o botão verde. A intensidade da luz será ajustada automaticamente depois de alterar o objectivo | * | * | |
Concentrando | Posição de focagem coaxial macro e micrométrica, coima divisão 1μm, faixa de movimento 35mm | * | * | |
Max. Altura do modelo | 76mm | * | ||
56mm | * | |||
Estágio | Camadas de duplo estágio mecânica, tamanho 210mmx170mm; faixa de movimento 105mmx105mm (alavanca direita ou esquerda); precisão: 1mm; com superfície oxidada para evitar desgastes Y pode ser bloqueado | * | * | |
Suporte de wafers: poderia ser usada para segurar 2", 3", 4" wafer | ○ | ○ | ||
Kit de DIC | Kit de DIC de iluminação refletida (pode ser usado para 10X, 20X, 50X, 100X) | ○ | ○ | |
Kit polarizador | Polarizador para iluminação reflectida | ○ | ○ | |
Analyzer para iluminação refletida, 0-360° rotativos | ○ | ○ | ||
Polarizador para iluminação transmitidos | ○ | |||
Analyzer para iluminação transmitidos | ○ | |||
Outros acessórios | Adaptador de montagem C 0,5X | ○ | ○ | |
1 x adaptador de montagem C | ○ | ○ | ||
Tampa Contra Poeira | * | * | ||
Cabo de Alimentação | * | * | ||
Lâmina de calibração de 0,01mm | ○ | ○ | ||
Pressionador de amostra | ○ | ○ |